ایمیل: web@kota.sh.cn
تلفن: 0515-83835888
اصل کار دستگاه پوشش خلاء Magnetron Sputtering
اصل کار یک دستگاه پوشش خلاء پراکنده مگنترون استفاده از یک میدان مغناطیسی و ماده هدف برای رسوب مواد روی بستر با لکه دار کردن است.
اصل کار خاص به شرح زیر است:
1. آماده سازی محیط خلاء: بستر را برای پردازش در یک محفظه خلاء قرار دهید و محفظه خلاء را از طریق سیستم اگزوز تخلیه کنید تا یک محیط خلاء ایجاد شود.
2. ماده هدف را گرم کنید: دستگاه گرمایش هدف در محفظه خلاء مواد هدف را گرم می کند تا به دمای تبخیر برسد.
3. یک میدان مغناطیسی ایجاد کنید: یک دستگاه میدان مغناطیسی را در نزدیکی ماده مورد نظر قرار دهید و یک میدان مغناطیسی بمالید تا یک منطقه میدان مغناطیسی روی سطح ماده هدف تشکیل شود.
4. فرآیند پاشیدن: هنگامی که ماده هدف به دمای تبخیر می رسد ، اتمهای موجود در سطح ماده هدف شروع به تبخیر و تشکیل پلاسما تحت عمل میدان مغناطیسی می کنند. این پلاسما اتمها یا مولکول های ماده مورد نظر را تحت تأثیر قرار می دهد یا از بین می برد.
5. رسوب روی بستر: متعاقباً ، اتم ها یا مولکول های پاشیده شده روی سطح بستر قرار می گیرند تا فیلم مورد نظر را تشکیل دهند.
با کنترل پارامترهای فرآیند لکه دار شدن ، مانند دمای ماده هدف ، قدرت لکه دار ، فشار گاز و غیره ، می توان ضخامت ، ترکیب و ساختار فیلم رسوب شده را کنترل کرد.
به طور کلی ، دستگاه های پوشش خلاء لکه دار مگنترون گرما و تبخیر مواد مورد نظر را تبخیر می کنند و اتم ها یا مولکول های پاشیده شده را روی بستر تحت عمل میدان مغناطیسی قرار می دهند تا به تهیه فیلم های نازک دست یابند .
| ماده بستر | PET/PP 3 میکرومتر 12 میکرومتر |
| عرض 1350 میلی متر (عرض رسوب مؤثر: 1300 میلی متر) | |
| سرعت | 2m/min (از هر طرف 1μm x هر دو طرف) |
| ظرفیت تولید: حدود 95،000 متر 2 /ماه | |
| مشخصات پوشش | کاتد پاشیده مگنترون چرخشی 32Set |
| فشار هوای عملیاتی: 1.0pa 0.5 ~ | |
| درمان سطحی | بمباران بخاری یا لون |
| عملکرد غشایی | ترکیب غشای: لایه چسبندگی (SP)/لایه الکترود مس (تبخیر)/لایه محافظ (SP) |
| توزیع ضخامت: 5 ± ٪ | |
| مقاومت در برابر غشای: 25mΩ □ |

KOTA Technology Limited Company در سال 2012 با سرمایه ثبت شده 10 میلیون یوان تأسیس شد ، یک شرکت ملی فناوری پیشرفته است. این شرکت که مقر آن در شانگهای ، چین است ، تعدادی شرکت تابعه کاملاً متعلق به و نگهداری در نانتونگ ، یانچنگ و سایر مناطق در استان جیانگسو دارد و مراکز تحقیق و توسعه را در چین و ژاپن تأسیس کرده است تا بازار جهانی را بسازد. در حال حاضر ، این شرکت به یک تولید کننده تجهیزات هوشمند جدید با انرژی جدید داخلی تبدیل شده است و یک شرکت در زمینه تجهیزات فویل مس لیتیوم در کشور است. تیم فنی اصلی این شرکت به سرپرستی آقای ماتسودا میتسویا در ناگویا ، ژاپن ، بر توسعه و ادغام تجهیزات تولیدی و سیستم اتوماسیون با کیفیت بالا در زمینه تجهیزات الکترومکانیکی با دقت بالا تمرکز دارد. با معرفی مفاهیم پیشرفته فناوری و طراحی ژاپنی و واردات قطعات دقیق اصلی از ژاپن ، محصولات تجهیزات مختلف تولید شده توسط این شرکت به معیارهای صنعت تبدیل شده است.





با رشد مداوم صنعت باتری لیتیومی و افزایش تقاضا برای مواد الکترونیکی با کارایی بالا، دستگاه فویل مسی با رسوب الکتریکی به یکی از حیاتی ترین تجهیزات تولید در تولید مدرن تبدیل شده است. ای...
مشاهده بیشتردستگاه صیقل و سنگ زنی طبل کاتد چیست؟ در دستگاه صیقل و سنگ زنی طبل کاتد یک دستگاه صنعتی تخصصی است که برای اتمام سطح قطعات فلزی از جمله غرق شدن ، پرداخت ، صیقل دادن و هموار سازی...
مشاهده بیشتردستگاه صیقل و سنگ زنی طبل کاتد چیست؟ بوها دستگاه صیقل و سنگ زنی طبل کاتد تجهیزات صنعتی است که برای پرداخت طبل ، خرد کردن و اتمام طبل های کاتد مورد استفاده در الکتروپل سازی ، تولید ...
مشاهده بیشتر 1. ایجاد یک محیط خلاء کنترل شده
اولین قدم در فرآیند پاشیدن مگنترون ایجاد یک محیط خلاء کنترل شده است. محفظه خلاء ، که برای فرآیند پوشش یکپارچه است ، بستر و ماده هدف را در خود جای داده است. هنگام تهیه محفظه ، با استفاده از یک سیستم اگزوز پیشرفته برای دستیابی به درجه بالایی از خلاء تخلیه می شود. خلاء برای از بین بردن ذرات هوا ، گرد و غبار یا هر نوع آلودگی که می تواند در کیفیت رسوب فیلم نازک تداخل داشته باشد ، ضروری است.
ایجاد این خلاء همچنین اجازه می دهد رول خلاء برای چرخاندن سیستم پاشش دو طرفه برای کار با حداقل مقاومت ، کارآمدتر کردن فرآیند رسوب. این امر از اکسیداسیون مواد هدف جلوگیری می کند و تضمین می کند که فقط اتم های پاشیده شده از مواد هدف بر روی بستر قرار می گیرند. در مورد شرکت Hongtian Technology ، Ltd. ، محیط خلاء به طور معمول از 0.5 تا 1.0 Pa متغیر است ، دامنه فشار که برای لکه دار شدن لایه های فلزی مانند مس یا آلومینیوم بهینه است.
هنگامی که محفظه زیر خلاء مورد نظر قرار می گیرد ، بستر با دقت تراز می شود تا از پوشش یکنواخت اطمینان حاصل شود. بسترهایی مانند PET (پلی اتیلن تفاتالات) یا PP (پلی پروپیلن) ، به طور معمول ضخامت های مختلف از 3 میکرومتر تا 12 میکرومتر ، در طی فرآیند پوشش به طور مداوم جابجا می شوند. خلاء تضمین می کند که پوشش به طور مداوم در کل سطح سطح بستر اعمال می شود. سیستم خلاء خلاء برای رول کردن سیستم پاشش دو طرفه برای عملیات پر سرعت طراحی شده است و سرعت خط آن در حدود 2 متر در دقیقه است. این امر باعث می شود که برای تولید در مقیاس بزرگ ایده آل باشد ، با شرکت Hongtian Technology ، سیستم آموزشی ویبولیتین قادر به پوشش دادن تقریباً 95،000 متر مربع در ماه است.
با کنترل خلاء ، سیستم هرگونه آلودگی بالقوه را به حداقل می رساند و محیطی تمیز و پایدار را برای فرآیند لکه دار فراهم می کند ، و اطمینان می دهد که فیلم پوشش داده نهایی مشخصات لازم را برای ضخامت ، یکنواختی و چسبندگی رعایت می کند.
2. فرآیند پاشیدن مگنترون: رسوب مواد
پس از تنظیم محیط خلاء ، روند پاشیدن شروع می شود. شرکت Hongtian Technology ، Ltd. با استفاده از یک کاتد اسپاتری مگنترون دوار با 32 مجموعه مگنترون ، که از لحاظ استراتژیک برای اطمینان از رسوب مواد یکنواخت در هر دو طرف بستر قرار گرفته اند. فرآیند پاشیدن هنگامی شروع می شود که یک گاز بی اثر ، به طور معمول آرگون ، به محفظه خلاء وارد شود. ولتاژ بالایی بر روی مواد هدف اعمال می شود و باعث می شود یونهای گاز یونیزه شوند.
مولکول های گاز یونیزه شده سپس با ماده هدف برخورد می کنند و اتمهای را از سطح هدف خارج می کنند. این اتمها سپس بیرون می آیند و از طریق خلاء به بستر سفر می کنند ، جایی که آنها متراکم می شوند و یک پوشش نازک و یکنواخت را تشکیل می دهند. این فرآیند بسیار کنترل شده است ، با شرکت Hongtian Technology ، Ltd. اطمینان حاصل می کند که ضخامت پوشش در محدوده تحمل دقیق 5 ± نگه داشته می شود و باعث می شود کیفیت مداوم در طول تولید باشد.
یکی از مهمترین مزایای فرآیند پاشیدن مگنترون ، توانایی آن در پوشیدن هر دو طرف بستر به طور همزمان است. این لکه دار دو طرفه به طور قابل توجهی باعث افزایش کارایی و کاهش زمان تولید می شود ، که این یک مزیت اصلی برای صنایع است که نیاز به حجم زیادی از مواد پوشیده شده دارند. ماده هدف مورد استفاده در لکه دار شدن بسته به کاربرد می تواند متفاوت باشد. به عنوان مثال ، مس (مس) معمولاً به عنوان ماده الکترود استفاده می شود ، در حالی که سایر مواد ممکن است برای لایه های محافظ استفاده شود. شرکت Hongtian Technology ، آموزشی ویبولیتین تضمین می کند که مواد مورد نظر به اندازه کافی گرم می شوند و شرایط بهینه را برای لکه دار فراهم می کنند.
علاوه بر پوشش های فلزی استاندارد ، این سیستم همچنین رسوب فیلم های پیچیده چند لایه مانند لایه های چسبندگی (SP) ، لایه های الکترود (مس) و لایه های محافظ (SP) را در خود جای داده است. این رویکرد لایه بندی شده باعث افزایش عملکرد پوشش ، بهبود دوام ، هدایت الکتریکی و مقاومت در برابر خوردگی می شود. کاتد لکه دار مگنترون دوار تضمین می کند که رسوب یکنواخت و سازگار در هر دو طرف بستر است ، به شرکت فناوری Hongtian ، Ltd. اجازه می دهد تا مواد با پوشش با کیفیت بالا تولید کنند که مطابق با استانداردهای سخت صنایع مختلف باشد.
3. بهینه سازی کیفیت و عملکرد پوشش
اطمینان از کیفیت و عملکرد پوشش ، بخش مهمی از فرآیند پاشیدن است. این سیستم مجهز به ویژگی هایی است که برای تقویت چسبندگی و دوام فیلم های نازک اعمال شده بر روی بسترها طراحی شده است. پس از ریختن مواد بر روی بستر ، شرکت فناوری Hongtian ، Ltd. از یک درمان بمباران گرمایشی یا یونی برای بهبود چسبندگی بین پوشش و بستر استفاده می کند. این مرحله برای اطمینان از اینكه پوشش در حین استفاده از یا كاربرد بعدی ، به ویژه در محیط های خواستار ، دست نخورده باقی بماند ، ضروری است.
ترکیب پوشش به طور معمول از یک لایه چسبندگی (SP) ، یک لایه الکترود رسانا (مس) و یک لایه محافظ (SP) تشکیل شده است. این ترکیب از لایه ها مزایای مختلفی را ارائه می دهد ، از جمله بهبود قدرت مکانیکی ، هدایت الکتریکی و مقاومت در برابر سایش و خوردگی. لایه محافظ تضمین می کند که این پوشش در برابر عوامل محیطی مانند رطوبت ، گرد و غبار و نوسانات دما مقاوم باشد ، که در صنایعی مانند الکترونیک و خودرو از اهمیت ویژه ای برخوردار است.
شرکت Hongtian Technology ، آموزشی ویبولیتین تأکید زیادی بر کنترل یکنواختی و ضخامت پوشش دارد. این سیستم با تحمل توزیع ضخامت غشایی 5 ٪ ± ، تضمین می کند که هر بستر پردازش شده در زیر رول خلاء خود برای چرخاندن سیستم لکه دار دو طرفه یک پوشش مداوم دریافت می کند. این دقت برای برنامه هایی که یکنواختی و قابلیت اطمینان بسیار مهم هستند ، مانند تولید نیمه هادی ها ، پانل های خورشیدی یا تزیینات تزئینی در قطعات خودرو ضروری است.
مقاومت پوشش نهایی به طور معمول در حدود 25 MΩ است ، مقداری که مقاومت الکتریکی کم و هدایت عالی را تضمین می کند ، که برای کاربردهای موجود در سیستم های الکترونیکی و ذخیره انرژی ضروری است. سطح بالای کنترل فرآیند پوشش و امکان تولید مقادیر زیادی از مواد با کیفیت بالا باعث می شود شرکت فناوری Hongtian ، فناوری آموزشی ویبولیتین انتخابی ایده آل برای صنایعی باشد که نیاز به دقت ، قابلیت اطمینان و کارآیی دارند .