0515-83835888
خانه / محصولات / تولید حرفه ای تجهیزات پوشش یون خلاء PVD / خط تولید پوشش مگنترون پراکنده

خط تولید پوشش مگنترون پراکنده

نمای کلی خط تولید پوشش مگنترون مگنترون مداوم

پوشش پراکنده مگنترون مداوم یک فناوری رسوب فیلم نازک پیشرفته است که از یک میدان مغناطیسی برای کنترل مسیر حرکات پرتوهای یونی در یک محیط کم فشار ، دستیابی به چسبندگی پاشش به سطح مواد استفاده می کند و از این طریق یک لایه فیلم نازک یکنواخت ، متراکم و به خوبی انجام می شود. این فناوری نه تنها می تواند سختی ، مقاومت در برابر سایش و مقاومت در برابر خوردگی مواد را بهبود بخشد بلکه نوری آنها را نیز تغییر می دهد
خواص الکتریکی و حرارتی برای پاسخگویی به نیازهای زمینه های مختلف.

اصل کار

اصل کار پوشش مداوم مگنترون ، معرفی یک میدان مغناطیسی بر روی سطح کاتد هدف و استفاده از میدان مغناطیسی برای محدود کردن ذرات بارگذاری شده برای افزایش چگالی پلاسما است و از این طریق سرعت پاشش را افزایش می دهد. یون های آرگون توسط کاتد شتاب می گیرند و سطح هدف کاتد را بمباران می کنند ، اتمهای را از سطح هدف پاشیده می کنند و آنها را بر روی سطح بستر قرار می دهند تا یک فیلم نازک تشکیل شود. با تغییر اهداف مواد مختلف و کنترل زمان های مختلف لکه دار ، می توان فیلم های نازک از مواد و ضخامت های مختلف را بدست آورد.

مزایای فنی

نرخ رسوب بالا: با توجه به استفاده از الکترودهای مگنترون ، می توان یک جریان یون بمباران هدف بسیار بزرگ را بدست آورد که منجر به افزایش سرعت لکه دار شدن در سطح هدف و میزان رسوب فیلم بالا بر روی سطح بستر می شود.
inficery بهره وری بالا: احتمال برخورد بین الکترونهای کم انرژی و اتم های گاز زیاد است و در نتیجه افزایش قابل توجهی در میزان یونیزاسیون گاز ایجاد می شود. به همین ترتیب ، امپدانس گاز تخلیه (یا پلاسما) به طور قابل توجهی کاهش می یابد. بنابراین ، در مقایسه با لکه دار شدن دیود DC ، حتی اگر فشار کار از 1-10pa به 10-2- 10-1PA کاهش یابد ، ولتاژ لکه دار نیز از چند هزار ولت به چند صد ولت کاهش می یابد ، و راندمان پاشش و میزان رسوب به سفارش بزرگی افزایش می یابد.
لکه دار کم انرژی: با توجه به ولتاژ کم کاتد که به هدف اعمال می شود ، پلاسما توسط میدان مغناطیسی در فضای نزدیک کاتد محدود می شود و بدین ترتیب بروز ذرات با انرژی بالا را در یک طرف بستر سرکوب می کند. بنابراین ، میزان خسارت وارده به بسترهایی مانند دستگاه های نیمه هادی توسط بمباران ذرات شارژ شده پایین تر از سایر روشهای لکه دار است.
کاربرد گسترده مواد: تمام فلزات ، آلیاژها و مواد سرامیکی را می توان در مواد هدف قرار داد. با استفاده از مگنترون فرکانس جریان مستقیم یا رادیویی ، پوشش های فلزی خالص یا آلیاژ با نسبت های دقیق و ثابت ، و همچنین فیلم های واکنش فلزی با مشارکت گاز ، می توانند برای برآورده کردن نیازهای فیلم های نازک و با دقت بالا تولید شوند.

منطقه کاربردی

فناوری پوشش پراکنده مگنترون مداوم به طور گسترده در صنایع الکترونیکی و اطلاعاتی مانند مدارهای یکپارچه ، ذخیره اطلاعات ، نمایشگرهای کریستال مایع ، حافظه لیزر ، دستگاه های کنترل الکترونیکی و غیره مورد استفاده قرار می گیرد. همچنین می تواند در زمینه پوشش شیشه ای استفاده شود. همچنین می تواند در صنایعی مانند مواد مقاوم در برابر سایش ، مقاومت در برابر خوردگی با دمای بالا و محصولات تزئینی با سطح بالا استفاده شود .

پارامتر محصول

فناوری پوشش پراکنده مگنترون مداوم به دلیل راندمان ، یکنواختی و کنترل پذیری بالا نقش مهمی در صنعت مدرن دارد. با پیشرفت فناوری ، این فناوری به توسعه مواد و محصولات جدید ادامه خواهد داد و فرصت های نوآوری و توسعه بیشتری را برای صنایع مختلف به وجود می آورد .

KOTA Technology Limited Company

درباره ما

KOTA Technology Limited Company در سال 2012 با سرمایه ثبت شده 10 میلیون یوان تأسیس شد ، یک شرکت ملی فناوری پیشرفته است.
این شرکت که مقر آن در شانگهای ، چین است ، تعدادی شرکت تابعه کاملاً متعلق به و نگهداری در نانتونگ ، یانچنگ و سایر مناطق در استان جیانگسو دارد و مراکز تحقیق و توسعه را در چین و ژاپن تأسیس کرده است تا بازار جهانی را بسازد. در حال حاضر ، این شرکت به یک تولید کننده تجهیزات هوشمند جدید با انرژی جدید داخلی تبدیل شده است و یک شرکت در زمینه تجهیزات فویل مس لیتیوم در کشور است. تیم فنی اصلی این شرکت به سرپرستی آقای ماتسودا میتسویا در ناگویا ، ژاپن ، بر توسعه و ادغام تجهیزات تولیدی و سیستم اتوماسیون با کیفیت بالا در زمینه تجهیزات الکترومکانیکی با دقت بالا تمرکز دارد. با معرفی مفاهیم پیشرفته فناوری و طراحی ژاپنی و واردات قطعات دقیق اصلی از ژاپن ، محصولات تجهیزات مختلف تولید شده توسط این شرکت به معیارهای صنعت تبدیل شده است.

افتخار

  • افتخار
    گواهی ثبت اختراع
  • افتخار
    گواهی ثبت اختراع
  • افتخار
    گواهی ثبت اختراع
  • افتخار
    گواهی ثبت اختراع
  • افتخار
    گواهی ثبت اختراع

خبر

اکنون با ما تماس بگیرید

دانش صنعت

1. پوشش مگنترون مداوم چیست و چگونه کار می کند؟
خط تولید پوشش مگنترون پراکنده یک روش رسوب فیلم نازک پیشرفته و بسیار دقیق است که برای تقویت خصوصیات مواد استفاده می شود. این کار با معرفی یک میدان مغناطیسی روی سطح یک کاتد هدف ، هدایت حرکت یون ها در یک محیط کم فشار کار می کند. این منجر به یک فرآیند پاشیدن می شود که در آن اتم های هدف با بمباران آنها با یون های آرگون شتاب بیرون می آیند و متعاقباً روی یک بستر سپرده می شوند. این لایه فیلم نازک را می توان برای رعایت ضخامت مورد نیاز و مشخصات مواد با تغییر زمان لکه دار و استفاده از مواد هدف مختلف سفارشی کرد.
در شرکت Hongtian Technology ، Ltd. ، ما اهمیت فن آوری های پیشرفته تولید مانند پوشش مداوم مگنترون را در صنعت مدرن درک می کنیم. ما به عنوان یک شرکت متخصص در تجهیزات و راه حل های الکترومکانیکی برش ، ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا هستیم که از آخرین فناوری ها استفاده می کنند. قابلیت های تولید پیشرفته ما شامل یک کارگاه و انبار تولید کاملاً مجهز است و اطمینان حاصل می کند که محصولات ما بالاترین استانداردهای کیفیت و کارآیی را رعایت می کنند. پارک تجهیزات جدید فویل Electro-Copper ما ، واقع در Yancheng ، استان جیانگسو ، بخشی از تلاش مداوم ما برای تقویت پیشنهادات فناوری ما است. این تسهیلات ما را قادر می سازد تا فناوری های پیشرفته پوشش ، از جمله لکه گیری مگنترون را در توسعه مواد نسل بعدی و تجهیزات هوشمند برای صنایع انرژی و الکترونیک ادغام کنیم.
اصل کار لکه گیری مگنترون شامل کنترل چگالی پلاسما و یون به روشی بسیار کارآمد است. یون ها از کاتد شتاب می گیرند و باعث می شوند اتمهای هدف از بین بروند و سپس بر روی یک سطح بستر قرار بگیرند. یکنواختی و چگالی لایه فیلم نازک تشکیل شده از ویژگی های اصلی این فرآیند است و آن را برای کاربردهایی که به خصوصیات مواد سازگار مانند مقاومت در برابر سایش ، مقاومت در برابر خوردگی و ویژگی های نوری یا الکتریکی افزایش یافته اند ، ایده آل می کند. این تطبیق پذیری امکان استفاده از پوشش ها را برای طیف گسترده ای از بسترها ، فراهم کردن سفارشی سازی و دقت در صنایعی مانند الکترونیک ، خودرو و انرژی فراهم می کند.

2. مزایای فنی اصلی لکه گیری مداوم مگنترون چیست؟
استفاده از الکترودهای مگنترون یک جریان بزرگ بمباران یون را ایجاد می کند و منجر به یک فرآیند پاشش شتاب و میزان رسوب بالاتر می شود. این امر به ویژه در محیط های تولید در مقیاس بزرگ مفید است که راندمان و سرعت بسیار مهم است.
لکه گیری مگنترون راندمان انرژی بالایی را فراهم می کند. برخورد الکترونهای کم انرژی با اتم های گاز منجر به میزان یونیزاسیون گاز بالاتر می شود که به نوبه خود امپدانس پلاسما تخلیه را کاهش می دهد. این کاهش در امپدانس به این معنی است که فرآیند پاشش در ولتاژها و فشارهای پایین تر عمل می کند و منجر به بهبود کارایی و کاهش مصرف انرژی می شود. در شرکت فناوری Hongtian ، Ltd. ، ما تأکید زیادی بر کارآیی انرژی می کنیم زیرا این امر به طور مستقیم بر هزینه های تولید و پایداری تأثیر می گذارد. سرمایه گذاری مستمر ما در امکانات تولیدی پیشرفته ، مانند پارک تجهیزات جدید بالا در جیانگسو ، به ما کمک می کند تا مصرف انرژی را بیشتر بهینه کنیم و عملکرد تجهیزات را که در سراسر جهان به مشتریان خود عرضه می کنیم ، بهبود بخشیم.
یکی دیگر از مزیت های مهم ، پاشیدن انرژی کم است که منجر به یک فرآیند رسوب کنترل شده تر می شود. میدان مغناطیسی پلاسما را در نزدیکی کاتد محدود می کند و بمباران ذرات پر انرژی را روی بستر کاهش می دهد. این ویژگی به ویژه هنگام کار با مواد حساس مانند نیمه هادی ها ، که در معرض ذرات پر انرژی می تواند باعث آسیب شود ، از اهمیت ویژه ای برخوردار است. به عنوان یک شرکت متعهد به ارائه راه حل های سفارشی و با کارایی بالا برای صنایع اعم از الکترونیک گرفته تا خودرو ، شرکت فناوری Hongtian ، Ltd. با استفاده از فناوری هایی مانند Magnetron Sputtering در ارائه محصولات ما یکپارچه می کند تا اطمینان حاصل شود که ما با بالاترین استانداردهای کیفیت در عین حال خطرات لازم برای مواد ظریف را به حداقل می رسانیم.
کاربرد مواد گسترده یکی دیگر از دلایل دیگر برای اتخاذ گسترده در مگنترون مداوم است. این فرآیند به اندازه کافی متنوع است تا بتواند مواد مختلف هدف از جمله فلزات ، آلیاژها و سرامیک ها را در خود جای دهد. این انعطاف پذیری امکان تولید فیلم های نازک با خواص خاص ، از جمله پوشش های فلزی ، فیلم های آلیاژ و فیلم های واکنش را فراهم می کند که برای صنایعی که نیاز به پوشش های با دقت بالا مانند هوافضا ، خودرو و ارتباطات دارند بسیار مهم هستند.

3. کاربردهای اصلی پوشش پراکنده مگنترون مداوم چیست؟
کاربردهای پوشش پراکنده مگنترون مداوم وسیع و متنوع است و در صنایع مختلفی قرار دارد. یکی از برجسته ترین زمینه ها صنعت الکترونیک و اطلاعات است که در آن این فناوری به طور گسترده در ساخت قطعات مانند مدارهای یکپارچه ، نیمه هادی ها و دستگاه های ذخیره سازی اطلاعات مورد استفاده قرار می گیرد. در این برنامه ها ، توانایی تولید فیلم های نازک با خاصیت الکتریکی و نوری متناسب بسیار مهم است. لکه گیری مگنترون امکان کنترل دقیق بر ضخامت فیلم و ترکیب مواد را فراهم می کند ، و آن را برای ایجاد پوشش هایی با هدایت خاص ، شفافیت یا خصوصیات بازتابنده ایده آل می کند.
در شرکت Hongtian Technology ، Ltd. ، ما اهمیت نوآوری مداوم در بخش هایی مانند الکترونیک را تشخیص می دهیم. قابلیت های تولید خود ما ، از جمله پارک جدید تجهیزات با کیفیت بالا در جیانگسو ، ما را قادر می سازد تا نوآوری رانندگی را در مناطقی مانند تولید الکترونیک ادامه دهیم ، جایی که دقت و سفارشی سازی مواد مهم است. ما به توسعه راه حل های پیشرفته اختصاص داده ایم که آخرین فناوری ها ، از جمله مگنترون را با هم ادغام می کنند تا محصولات باکیفیت را که پاسخگوی خواسته های برنامه های مدرن است ، در اختیار مشتریان خود قرار دهیم.
یکی دیگر از کاربردهای مهم پوشش شیشه ای ، به ویژه برای شیشه های معماری و خودرو است. فیلم های نازک ایجاد شده از طریق لکه دار شدن مگنترون می توانند دوام ، کارایی و ظاهر سطوح شیشه ای را بهبود بخشند. این شامل پوشش های ضد بازتاب ، محافظت از اشعه ماوراء بنفش و لایه های عایق حرارتی است. این روکش ها نه تنها جذابیت زیبایی شناسی را تقویت می کنند بلکه با کاهش جذب گرما و بهبود استحکام شیشه به بهره وری انرژی نیز کمک می کنند.
علاوه بر لوازم الکترونیکی و پوشش شیشه ای ، لکه گیری مگنترون نیز در زمینه مواد مقاوم در برابر سایش بسیار مورد استفاده قرار می گیرد. این فناوری باعث ایجاد پوشش های سخت و بادوام می شود که مقاومت سایش را در معرض اصطکاک بالا مانند قطعات خودرو ، ماشین آلات صنعتی و ابزارهای برش بهبود می بخشد. قدرت چسبندگی زیاد فیلم های نازک تولید شده از طریق لکه دار شدن مگنترون تضمین می کند که این پوشش ها تحت شرایط عملیاتی خواستار دست نخورده باقی می مانند ، در نتیجه طول عمر اجزای آن گسترش می یابد .