پاشش دو طرفه و پرتو الکترونی سیستم پوشش رول خلاء ترکیبی - فناوری پوشش فیلم نازک کارآمد و دقیق

این دستگاه خلاء تجهیزات پیشرفته ای برای پوشش در شرایط خلاء بالا است. این فن آوری دو طرفه پاشیدن و فن آوری تبخیر الکترونی را ترکیب می کند و می تواند فیلم های نازک را به طور مؤثر و دقیق روی سطوح بسترهای مختلف سپرده کند. این ماده به طور گسترده ای در ساخت پوشش های فلزی مانند مس و آلومینیوم استفاده می شود. از طریق این سیستم ، پوشش با کیفیت بالا از روکش های مس و آلومینیومی دو طرفه می توان به دست آورد ، که به ویژه برای نیازهای تولید در مقیاس بزرگ مناسب است. ظرفیت تولید این سیستم می تواند به حدود 710،000 متر مربع در ماه برسد که این امر می تواند نیازهای تولید در مقیاس بزرگ را برآورده کند. عرض پوشش مؤثر آن 1300 میلی متر است و سرعت خط تا 15 متر در دقیقه است. در طی فرآیند پوشش می تواند به رسوب فیلم نازک یکنواخت و با دقت بالا برسد. چه تولید انبوه باشد یا محصولات با دقت بالا ، می تواند عملکرد پایدار و کارآمد را فراهم کند.

فرآیند پوشش ترکیبی از تبخیر پرتو الکترونی و فناوری لکه دار است. در یک محیط خلاء ، الکترون ها یا لیزرهای پر انرژی مواد هدف را بمباران می کنند ، به طوری که اتمهای سطحی یا یونهای آن به شکل رسوب بخار روی بستر قرار می گیرند و یک فیلم نازک با عملکرد عالی تشکیل می دهند. Electron Beam Epaporation فناوری است که با گرم کردن یک ماده هدف با پرتو الکترونی و تبخیر آن ، یک فیلم نازک را روی یک بستر تشکیل می دهد. در این فرآیند ، پرتو الکترونی به سطح انرژی بسیار بالایی شتاب می یابد و سپس روی سطح ماده هدف متمرکز می شود. ماده هدف به سرعت به نقطه تبخیر گرم می شود و اتمها یا مولکول های روی سطح به صورت گازی آزاد می شوند و روی بستر خنک شده قرار می گیرند تا یک فیلم نازک تشکیل شود. فن آوری پراکنده ، فناوری است که مواد هدف را با ذرات پر انرژی بمباران می کند ، به طوری که اتم های سطحی یا یونهای سطح به شکل خوشه های اتمی آزاد شده و روی بستر قرار می گیرند. معمولاً فرآیند پاشیدن در یک فضای کم فشار انجام می شود و با استفاده از یون ها یا پرتوهای الکترونی برای بمباران مواد مورد نظر ، به طوری که اتمهای موجود در سطح مواد هدف جدا شده و یک فیلم نازک تشکیل می شوند. در فرآیند پوشش ، فناوری تبخیر پرتو الکترونی می تواند لایه فلزی را به طور مؤثر رسوب کند ، در حالی که فناوری پراکنده می تواند به رسوب یکنواخت فیلم های نازک عملکردی برسد. ترکیب این دو می تواند به طور قابل توجهی کارایی تولید را بهبود بخشد ، ضایعات مواد را کاهش داده و هزینه ها را کاهش دهد.

ترکیب لایه فیلم شامل یک لایه چسبندگی (SP) ، یک لایه الکترود (تبخیر) و یک لایه محافظ (SP) است که باعث چسبندگی بالا و هدایت الکتریکی پایدار فیلم می شود. برای اطمینان از عملکرد بالای فیلم ، تجهیزات کنترل دقیق ضخامت فیلم را با دقت توزیع ضخامت فیلم فراهم می کنند ± 10 ٪ ، که برای درخواست برنامه ها ضروری است. کنترل ضخامت دقیق فیلم ، یکنواختی فیلم را در مناطق مختلف تضمین می کند و از تفاوت در هدایت یا سایر مشکلات کیفیت ناشی از لایه های ناهموار فیلم جلوگیری می کند. علاوه بر این ، مقاومت فیلم می تواند در 25 متر کنترل شود ω ، که بسیار پایین تر از مقاومت بسیاری از مواد سنتی است ، اطمینان حاصل می کند که این پوشش دارای هدایت بسیار بالایی است. با کنترل دقیق مقاومت ، می توان اطمینان حاصل کرد که محصول در هنگام استفاده طولانی مدت ، هدایت عالی را حفظ می کند ، از کاهش کارایی تجهیزات یا عدم موفقیت به دلیل مقاومت بیش از حد جلوگیری می کند.

این تجهیزات را می توان در انواع بسترهای مختلف از جمله فیلم های PET/PP با دامنه ضخامت 3 پوشانده کرد μ m تا 12 μ م. این که آیا این الکترونیک انعطاف پذیر ، سلولهای خورشیدی ، صفحه لمسی ، سنسورها و زمینه های دیگر است ، می تواند اثرات پوشش با کیفیت بالا را ارائه دهد. فشار هوای عملیاتی سیستم در محدوده فشار کم از 0.005 تا 0.01pa حفظ می شود و از پردازش دقیق پوشش در محیط خلاء اطمینان می دهد. در عین حال ، مجهز به فناوری تصفیه سطح بمباران یونی برای بهبود بیشتر چسبندگی بین لایه فیلم و بستر ، اطمینان از دوام و عملکرد بالای پوشش .